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工业纯水设备
工业废水处理
中水回用设备
废水零排放
15t/h功率半导体超纯水设备
基本信息
一、超纯水出水技术参数:
电阻率: ≥18.1MΩcm(@25℃)
总溶解有机碳 TOC:<50ppb
颗粒度: < 5个/ml (φ>0.2u)
SiO2含量: < 5ppb
温度: 22~27℃
细菌含量: <50个/100ml
压力:0.3Mpa
二、处理工艺
三、应用范围
功率半导体芯片生产用水,满足硅片、刻蚀、去胶清洗用水,减薄清洗用水光刻清洗用水;
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CL-CHS-A-1000型纯化水设备
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