50t/h电子级高纯水设备介绍

50t/h电子级高纯水设备介绍

电子级高纯水设备采用反渗透技术，全膜法制取高纯水，水质稳定18兆欧以上，具有自动化程度高，设备集成程度高，绿色环保，操作维护简便等特点。

■主要用途：

※电子线路板生产制造用高纯水设备；

※半导体芯片晶元清洗用纯水设备；

※太阳能光伏（硅粉生产、单晶多晶生产、石英坩埚、多晶硅方舟、太阳能电池片生产）用电子级高纯水设备

※锂电池新能源材料生产用去离子水设备

※纳米和高纯度电子级材料生产用超纯水设备

■系统处理工艺流程图

原水→原水箱→原水增压泵→超滤膜系统→净水箱→增压泵→阻垢剂加药系统/还原剂加药系统→保安过滤器→高压泵1→反渗透装置1（一级二段）→中间水箱→PH调节装置→高压泵2→反渗透装置2→纯水箱→输送泵→EDI电除盐系统→EDI高纯水箱→高纯水输送泵→抛光混床→TOC去除器→精密过滤器→用水点

注：本系统采用反渗透和EDI处理工艺，主要有四个部分组成，预处理系统、二级反渗透主机系统、EDI电除盐系统、抛光混床系统；

原水采用自来水通过增压泵增压进入超滤系统，去除水中的悬浮物、胶体等，配套有还原剂加药系统和阻垢剂加药系统，可有效降低水中浑浊度，防止反渗透膜的结垢，提高反渗透膜的使用寿命；

二级反渗透系统采用陶氏或海德能品牌反渗透膜技术，自动制膜技术有效保证每支膜的水处理性能。一级反渗透采用CPA3型号的反渗透膜，该膜具有脱盐率较高、操作压力较小，抗污染性能，膜的脱盐率可以达到99.7%；二级反渗透膜采用BW30-400系列膜，该膜广泛使用二级反渗透系统中，相对于其它膜在二级中具有更好的脱盐效率。二级反渗透出水水质电导率可以达到5微西门子以下；

EDI电除盐系统采用双电压模块，EDI作为绿色脱盐模式，具有以下优点：占地面积省、运行成本低、系统设计简单、水质稳定、安装维修简便、绿色环保，不需要酸碱再生、可实现连续生产。EDI出水电阻率可以达到15~17兆欧；

抛光混床系统采用上海树脂厂和罗门哈斯合资品牌抛光核级树脂，抛光混床作为制取超纯水的核心部件，经处理后出水可以达到18兆欧以上，满足微电子行业用水要求；

   系统中电气控制情况

   本设备采用触摸屏PLC控制，系统中各工艺点的运行情况，在触摸屏中都有所设计，系统故障有报警及指示功能，可以通过触摸屏直观的了解设备运行情况、故障分析；

   该设备中的水箱和水泵均设计有液位连动控制，可以实现系统无人值守；

   高压泵均设计有压力保护装置；

   系统中的高纯水电阻率仪有报警和信号输出功能，在水质达不到设定要求自动报警。

■技术参数总表