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电子级25t/h高纯水设备
电子级25t/h高纯水设备介绍
系统处理工艺流程图
原水→原水箱→增压泵→全自动盘式过滤器→保安过滤器→超滤系统→超滤水箱→增压泵→阻垢剂加药系统/还原剂加药系统→保安过滤器→高压泵1→反渗透装置1→中间水箱→PH调节装置→高压泵2→反渗透装置2→纯水箱→输送泵→精密过滤器→EDI电除盐系统→EDI高纯水箱→输送泵→抛光混床→TOC去除器→精密过滤器→用水点
注：本系统采用反渗透膜处理工艺，主要有四个部分组成，预处理系统、二级反渗透主机系统、EDI电除盐系统、抛光混床系统；
原水采用自来水通过增压泵增压进入石英砂过滤器、活性炭过滤器和软化器过滤，去除水中的悬浮物、胶体、有机物及余氯，配套有絮凝剂加药系统和阻垢剂加药系统，可有效降低水中浑浊度，防止反渗透膜的结垢，提高反渗透膜的使用寿命；
二级反渗透系统采用美国陶氏反渗透膜技术，自动制膜技术有效保证每支膜的水处理性能。一级反渗透采用BW30-400型号的反渗透膜，该膜具有脱盐率较高、操作压力较小，抗污染性能，膜的脱盐率可以达到99.7%；二级反渗透膜采用BW30-365系列膜，该膜广泛使用二级反渗透系统中。二级反渗透出水水质电导率可以达到4微西门子以下；
EDI电除盐系统采用原装进口西门子模块，EDI作为绿色脱盐模式，具有以下优点：占地面积省、运行成本低、系统设计简单、水质稳定、安装维修简便、绿色环保，不需要酸碱再生、可实现连续生产。EDI出水电阻率可以达到15~17兆欧；
抛光混床系统采用上海树脂厂和罗门哈斯合资品牌抛光核级树脂，抛光混床作为制取超纯水的核心部件，经处理后出水可以达到18兆欧以上，满足微电子行业用水要求；
系统中电气控制情况
本设备采用触摸屏PLC控制，系统中各工艺点的运行情况，在触摸屏中都有所设计，系统故障有报警及指示功能，可以通过触摸屏直观的了解设备运行情况、故障分析；
该设备中的水箱和水泵均设计有液位连动控制，可以实现系统无人值守；
高压泵均设计有压力保护装置；
系统中的电导率仪和电阻率仪均有报警和信号输出功能；
技术参数总表
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项目 |
CL-25T/H型高纯水设备 |
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应用行业 |
微电子冲洗用水 |
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设备控制方式 |
触摸屏PLC控制，各液位、压力连锁控制，实现无人值守 |
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产水量 |
25T/H |
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进水水质指标 |
市政自来水，电导率≤1000μS/cm |
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产水水质 |
电导率≤0.055μS/cm（电阻率≥18MΩ.CM） |
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反渗透设备系统脱盐率 |
99.7% |
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自来水损耗 |
33t/h |
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进水温度 |
2~35℃ |
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工作方式 |
可24小时运行 |
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设备最大运行质量 |
预处理部分约30吨 二级反渗透主机系统约5吨 EDI电除盐和抛光混床：约4吨 |
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设备额定功率 |
约85KW |
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电源 |
380V AC 50HZ 三相五线 |
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反渗透系统回收率 |
50~75% |
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主机设备规格尺寸 |
长6000*宽2500*高2000 |
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厂房建议尺寸（含操作维护空间） |
长19000*宽8000*高7000 |
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进水口径 |
DN100 PN1.0法兰接口 |
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出水口径 |
DN65 PN1.0法兰接口 |
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排污口径 |
DN125PN1.0法兰接口 |