半导体高纯水指标只要电阻率达到18兆欧就可以了吗？

   高纯水设备出水电阻率达到18兆欧就可以了？答案肯定是不可以的。

   半导体和集成电路生产中所用到的高纯水不紧要求电阻率达到18.25兆欧以上，同时对各种金属离子都有比较苛刻的要求，比如说锌、铁和铜离子，都要求达到0.05ppb等级，美国标准更严格，要达到0.02ppb。

   电子级高纯水同时对细菌要求比较高 细菌要求<5/1000CFU/ml，而制药行业纯化水标准是100CFU/ml，可以看出电子级高纯水标准要求是要无数倍的。

   同时TOC、颗粒物、二氧化硅、溶解氧都有很严格的要求。详情请见上篇文章，高纯水标准对比。